Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Серия: Электроника
Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2007
ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 400
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Цена: 423 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Рабочее место
Рабочее место - место, в котором работник должен находиться или в которое ему необходимо прибыть в связи с его работой и ...
Безопасные условия труда
Безопасные условия труда - условия труда, при которых воздействие на работающих вредных и (или) опасных производственных ...
Аттестация рабочих мест по условиям труда
Аттестация рабочих мест по условиям труда - оценка условий труда на рабочих местах в целях выявления вредных и (или) опасных ...
Эубиоз
Эубиоз - динамическое равновесие микрофлоры и организма человека.
Эпидемиология
Эпидемиология (от греч. epi - в, на и demos - народ и logos - наука) - наука, изучающая причины возникновения и закономерности ...
Эндемическая заболеваемость
Эндемическая заболеваемость (эндемия - от греч. endemos - местный) - постоянно существующая заболеваемость на данной территории ...
